中心实验室高分辨场发射扫描电子显微镜安装调试完成

设备概况

中心实验室新购置的高分辨场发射扫描电子显微镜已完成安装调试。该设备型号为 Apreo 2S HiVac，由 Thermo Fisher Scientific 制造，即日起在中心预约平台上线，面向全校师生开放使用。

主要技术指标

• 分辨率：高真空模式 0.5nm@15kV（减速模式），0.8nm@1kV（减速模式），0.9nm@1kV（非减速模式），工作距离 10mm
• 电压范围：0.2kV–30kV
• 放大倍率：50–2,000,000 倍
• 探针电子束流范围：1pA–50nA
• 着陆电压：20V–30kV（样品台减速模式）

功能特色

该设备具备标准、静电物镜（镜筒减速）、超高分辨磁浸没三种物镜工作模式，可实现低电压成像与全方位纳米至亚纳米级观测，适用于纳米颗粒、粉末、催化剂、金属、陶瓷、聚合物、复合材料、半导体等各类样品。

仪器搭载多个电子探测器：

• 镜筒内置 T1、T2、T3 三个高分辨电子探头（T1 具纳秒级采集速率，低电压下灵敏度高；T3 支持形貌成像与电位衬度成像）
• 插入式 DBS 背散射探头与样品仓 ETD 二次电子探头
• 配套牛津 Xplore 65 型 EDS 能谱仪（有效探测面积 65mm²，支持实时元素化学成像）
• Maps 软件支持大范围图像自动采集、拼接与数据联动

应用领域

适用于材料科学、化学化工、纳米科技、新能源、生物医学、半导体器件、地质矿物等多学科领域的微观形貌表征和元素分析。

来源：中心实验室 OA 通知